扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行P掺杂、B掺杂、氧化、合金、退火等工艺. 扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂,即将元素磷、硼扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。
反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。
星瑞悬臂浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于SINRI悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。星瑞悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物。
产品特点:
1. 高纯度
2. 良好的机械强度
3. 良好的抗热震性
4. 良好的耐腐蚀和耐磨性
5. 使用寿命长、综合性价比高
运用(放图片)