扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中进行P掺杂、B掺杂、氧化、合金、退火等工艺. 扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。

反应烧结碳化硅悬臂浆，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等，应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。

星瑞悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于SINRI悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。星瑞悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。

产品特点：

1. 高纯度

2. 良好的机械强度

3. 良好的抗热震性

4. 良好的耐腐蚀和耐磨性

5. 使用寿命长、综合性价比高

运用